真空ポンプオイル用清浄装置選定表

*表示が重なっている場合は、〔表示〕−〔最新の情報に更新〕を行ってください。

Ａ．真空ポンプオイルについて

１．     真空ポンプ
下記の工程や半導体の製造工程では不純物を嫌うケースが多く、真空ポンプが採用されている。
溶解、焼入、焼結、溶接、蒸着、各種液注入
最近は油を使用しないドライポンプが登場しているが、一般的には油を使用した真空ポンプが多く、なかでもロータリ式真空ポンプがよく使用されている。

２．     真空ポンプオイルの特長
　　　　・油量は少なく数Ｌ〜40Ｌ
　　　　・ ＶＧ68が多い
　　　　・油温は50℃
　　　　・管理基準
　　　　　　　水分0.2%、汚染度20mg/100ml、動粘度±10%、全酸価1.0KOHmg/g
　　　　・価格は400円/Ｌが一般的
　　　　　　中には120円/Lや拡散ポンプ用では10,000円/Ｌというものもある。
　　　　　　FOMBLINという商標名のフッ素化オイルは化学的に安定していて、不活性ということで、
　　　　　　半導体関係で使用されている。比重は２で20,000円/Ｌ。

Ｂ．ろ過方法

　　市販されているフィルタなど：
　　　　　デプス　タイプ（ＣＪＣフィルタ、ＲＯＴフィルタ）
　　　　　静電　　タイプ
　　　　　糸巻き　タイプ
　　　　　ロールティシュ　タイプ
　　　　　コアレッサ　タイプ（ＳＤ油水分離器）
　　　　　遠心分離機　タイプ（ＡＳ遠心分離機）

　　アメロイドは多種多様の清浄装置を有し、汚染状況に合わせて単独または組み合わせることで、清浄度とランニングコストの調和を図ります。従って、ミスマッチが無くご満足いただけます。