NAS汚染度(JIS B 9930)
粒径5μm以上の微粒子を計数法にて測定します。 NAS-1638汚染度規格表に従って NAS等級も表示します。また、ISO-1991に従ってISOコードも表示します。 ◎液体用自動微粒子計測器 (HIAC法) 試料を試料容器からHIACに導入して、単 位容積中の微粒子の粒径及び個数を測定します。 HIAC
◎画像処理法 ミリポアに捕捉した微粒子の粒径及び数を顕微鏡を使用し、画像処理によって測定します。
顕微鏡写真(PC出力画像) この顕微鏡には写真機能も取り入れており、×50~×500まで可能です。 顕微鏡